芯片大師曾在日耗電百萬度！“高攀不起”的EUV光刻機一文中指出，臺積電目前擁有超過80臺EUV光刻機，均分布在中國臺灣，以每天1MW的滿載功耗計算，開機一天的耗電量高達192萬度，相當于一座中型城市，換算成火電每天需要消耗853噸煤！
而進入3nm及以下節(jié)點后，不光投資額指數(shù)上漲，耗電量也繼續(xù)飆升。以1nm芯片工廠為例，3nm、5nm工廠的建設(shè)資金大約是200億美元，單1nm工藝的投資額高達320億美元，輕松超過2000億元。不僅如此，1nm工廠的耗電量也會是個麻煩，相比3nm工廠年耗電量70億度的水平來說，1nm需要下一代EUV光刻機，總功耗將達到2MW，也就是200萬瓦的水平。如果一天24小時運轉(zhuǎn)，那么下代光刻機每天就要消耗4.8萬度電。按年來算，1nm工廠不會少于80億度，甚至接近100億度，不可謂不驚人。預(yù)計到了2028年，這個1nm工廠的耗電量就相當于全臺2.3%的用電量了，臺積電所有工廠將占到全臺15%以上。
